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中国科学院深圳先进技术研究院精密工程研究中心是香港中文大学精密工程研究所的同源机构，2006年成立。本中心致力于精密工程技术与应用的研究和开发，主要研究方向包括精密制造与自动化技术、精密检测技术与精密运动控制技术，中心努力开拓精密工程在机械制造、电子信息、海工装备、水力发电、合成生物等各领域的应用，不断提升精密工程行业创新水平，力争成为国内一流的精密工程研究机构。