中国科学院深圳先进技术研究院精密工程研究中心是香港中文大学精密工程研究所的同源机构，2006年成立。本中心致力于精密工程技术与应用的研究和开发，主要研究方向包括精密制造与自动化技术、精密检测技术与精密运动控制技术，中心努力开拓精密工程在机械制造、电子信息、海工装备、水力发电、合成生物等各领域的应用，不断提升精密工程行业创新水平，力争成为国内一流的精密工程研究机构。

中心2011年获批组建深圳市精密工程重点实验室，与多家企业长期合作及成立企业联合实验室，获批中国科学院深圳先进技术研究院-香港中文大学精密工程联合实验室。

精密工程研究中心的主要研究方向：

精密工程研究中心拥有一支由海内外高素质人才凝聚而成的研发团队，目前具有研究员1人，教授级高级工程师1人，副研2人，高级工程师3人，博后2人，博士和硕士学位科研人员15人，在读硕、博士研究生20多人，专业背景涵盖机械工程、电力电子、自动控制、计算机科学、光学等多个学科领域。